| テスト温度 |
RT +10℃～200℃ |
| テスト方法 |
Vds=0V Vgs, off = Vgs, min および Vgs, on = Vgs, max |
| テストゾーン数 |
8 |
| ゾーンあたりのステーション数 |
12（標準） |
| 電圧検出範囲 |
-30V～30V |
| 電圧検出精度 |
検出誤差：±(1%+2LSB) |
| パルス制御① |
パルス周波数（方形波）：1kHz～500kHz |
| 精度：2%±2LSB |
| パルス制御② |
Duty比：20%～80%、精度：±2% |
| パルス制御③ |
電圧立ち上がり速度（dV/dt）≧50V/ns |
| パルス制御④ |
電圧オーバーシュート≦10% |
| リーク電流検出範囲 |
1nA～99.9uA |
| リーク電流精度① |
1nA～99nA、分解能：0.1nA、誤差：1%±2LSB |
| リーク電流精度② |
100nA～999nA、分解能：10nA、誤差：1%±1LSB |
| リーク電流精度③ |
1uA～99.9uA、分解能：0.1uA、誤差：1%±2LSB |
| 電源電圧 |
三相 AC200V±20V |
| 装置重量 |
750kg（typical） |
| サイズ |
800mm(W)×1400mm(D)×1950mm(H) |
| 対応規格 |
AEC-Q102、AQG324、JESD22-A101 |
| 対応部品 |
MOSトランジスタ、ダイオード、トライオード、IGBTモジュール |
| PIMモジュール、SiC、GaN、SCRなど |
