パワーデバイス・電子部品向け
信頼性評価装置事業

IGBTをはじめSiCパワー半導体は、高効率な電力変換を可能にするキーデバイスとして注目されています。特に電気自動車(EV) や再生可能エネルギー分野での活用が拡大しており、グリーン投資の増加を背景に、市場規模は今後順調に成長すると予測されています。 パワー半導体の需要が順調に増加し、自動車をはじめ多様な製品への採用が進む中、製品(デバイス)の長期信頼性やパッケージの熱特性に関する評価がますます重要になっています。 こういった市場動向に追従し、効率良く信頼性評価を進められるよう、半導体評価装置を準備いたしました。 本装置は、AEC-Q101、AQG324、JESD22などの信頼性規格に準拠した試験が可能であり、特に車載用途で求められる厳しい環境下での評価に最適です。以下の試験項目に対応する装置をラインアップしています。

評価対応可能項目一覧

  • ・パワーサイクル試験
  • ・高温ダイナミック逆バイアス試験
  • ・高温ダイナミックゲートバイアス試験
  • ・高温高湿ダイナミック逆バイアス試験
  • ・高温逆バイアスエージング試験
  • ・高温ゲートバイアス試験
  • ・高温高湿逆バイアス試験

ワンストップ評価請負サービスの提供

信頼性評価装置を保有していないお客様向けに、「パワー半導体向け信頼性評価装置」を活用した評価請負サービスの提供をお客様のご要望に応じて対応します。単一の装置で実施する評価試験に加え、複数項目の試験実施、規格に準拠した試験の実施、また提携機関と連携した物理解析を含め、信頼性評価の全工程を一括して提供するワンストップサービスを実現します。ご依頼の場合は、予め評価項目や対象となるデバイスの詳細をご相談ください。

その他装置ラインナップ

HAT-DHTRB01A

高温ダイナミック逆バイアステストシステム (ディスクリート部品用)
8テストゾーン

本システムは、AQG324規格に準拠したSiC MOSFETの高温ダイナミック逆バイアス試験を実施できる装置です。 各試験エリアに、独立したパルス電源を備えた最大12ステーションの試験が可能です。試験温度範囲は室温+10℃~200℃です。また、試験デバイスの短絡解除機能を備えており、他のデバイスの試験に影響を与えることなく、故障したデバイスを試験から自動的に切り離すことができます。

HAT-MPSOIA

高温テストシステム (パワーモジュール用)
16テストゾーン

本システムはパワーモジュールの高温動作試験を実施できる装置です。試験中はDUT(Device Under Test)の出力電圧,出力電流を測定します。

HAT-DHTGB01A

高温ダイナミックゲートバイアステストシステム
(ディスクリート部品用)
8テストゾーン

本システムは、第3世代SiC MOSFETの高温ダイナミックゲートバイアス試験を実施できる装置です。各試験エリアは、独立して最大12ステーションの試験が可能で、12個の独立したパルス電源を設定でき、デバイスのリーク電流Igssは互いに干渉しません。試験温度範囲は室温+10℃~200℃です。また、試験デバイスの短絡解除機能を備えており、他のデバイスの試験に影響を与えることなく、試験中に故障したデバイスを自動的に切り離すことができます。

HAT-GPIC01A

高温ダイナミックテストシステム
(集積回路用)
16テストゾーン

本システムは室温+10℃から200℃で動的HTOL試験を実施する装置です。試験中はDUT(Device Under Test)の電流と出力信号をリアルタイムでします。

HAT-HTRB01A

高温逆バイアステストシステム
1温度/16(/32/40/48)テストゾーン

本システムは、室温+10℃~200℃の高温逆バイアス試験を実施する装置です。試験中は、DUT(Device Under Test)のリーク電流と電圧をリアルタイムで監視し、必要に応じてテストデータの記録・出力も可能です。

HAT-IOL01A

パワーサイクル/IOLテストシステム
16テストゾーン

本システムは,ディスクリート部品を対象としたIOL(Intermittent Operational Life Test)試験を実施できる装置です。常温環境下で通電を繰り返し行い,通電時のデバイスの発熱により温度変化によるストレスをデバイスに加えます。

HAT-H3TRB01A

高温高湿逆バイアステストシステム
1温度/16(/8)テストゾーン

本システムは、高温高湿(85℃、85%RH)逆バイアス試験を実施できる装置です。試験中は、DUT(Device Under Test)のリーク電流と電圧をリアルタイムで監視し、必要に応じて試験データの記録やテストレポートを出力することも可能です。

HAT-MFS04A

高温高出力テストシステム (LED用)
8テストゾーン

本システムは,LEDに対して高温連続通電試験を実施できる装置です。

HAT-CWBS01A

ウェハーレベル信頼性テストシステム
1温度/1テストゾーン

本システムは、JEDEC信頼性テスト標準に基づいた、6インチ/8インチのウェハーレベルデバイスの高温制御電気信頼性テストを行う装置です。高精度な高電圧出力が可能で、高精度な電流値、制御温度や他のパラメータを記録し、記録されたテストデータに基づき、実験表とMAP図を複数形式で出力することが可能です。

HAT-GPIC02A

フォトカプラテストシステム 16テストゾーン

本システムは,フォトカプラに対して高温連続通電試験を実施できる装置です。

HAT-MKP01A

高温テストシステム (コンデンサ用)
1温度/16 (/32/40/48)テストゾーン

本システムは、室温+10℃~200℃で、コンデンサのバーンインスクリーニングテストを実施する装置です。最大4,500Vのバーンイン電圧を印加でき、試験中にDUT(Device Under Test)の漏れ電流と電圧をリアルタイムで監視し、リミットを超えたデバイスは保護停止されます。また、必要に応じてバーンインテストデータの記録や出力も可能です。

HAT-MFS02A

定電流テストシステム (ツェナーダイオード用)
16テストゾーン

本システムは,ツェナーダイオードに対して高温通電試験を実施できる装置です。

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