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本システムは、室温+10℃～200℃の高温逆バイアス試験を実施する装置です。試験中は、DUT(Device Under Test)のリーク電流と電圧をリアルタイムで監視し、必要に応じてテストデータの記録・出力も可能です。

本システムは、JEDEC信頼性テスト標準に基づいた、6インチ/8インチのウェハーレベルデバイスの高温制御電気信頼性テストを行う装置です。高精度な高電圧出力が可能で、高精度な電流値、制御温度や他のパラメータを記録し、記録されたテストデータに基づき、実験表とMAP図を複数形式で出力することが可能です。

本システムは、室温+10℃～200℃の高温逆バイアス試験を実施する装置です。試験中は、DUT(Device Under Test)のリーク電流と電圧をリアルタイムで監視し、必要に応じてテストデータの記録・出力も可能です。

本システムは、室温+10℃～200℃で、コンデンサのバーンインスクリーニングテストを実施する装置です。最大4,500Vのバーンイン電圧を印加でき、試験中にDUT(Device Under Test)の漏れ電流と電圧をリアルタイムで監視し、リミットを超えたデバイスは保護停止されます。また、必要に応じてバーンインテストデータの記録や出力も可能です。